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單晶爐

類別: 應(yīng)用示例 發(fā)布日期:2017年12月26日(星期二)

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園晶由單晶硅晶棒加工而成,單晶硅晶棒則是由多晶硅原材料加工而成的。
在坩堝中的熔化的硅的液面放入將籽晶,邊旋轉(zhuǎn)邊向上拉,這樣拉出了原子排列方向一致的單晶硅晶棒。

 

這是一般使用的稱之為CZ制造工藝。

 

另外,還有CZ工藝的單晶爐中加入強力磁場的MCZ(Magnetic field applied Czochralski)工藝,不使用石英坩堝的低氧濃度制造單晶硅晶棒的FZ(Floating Zone法)工藝

 

在半導體以及太陽能單晶爐設(shè)備中,Moretec的磁流體被廣泛應(yīng)用。

 

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